| Vorwort und Inhaltsverzeichnis | 5 |
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| 1 Grundbegriffe der Sensormesstechnik, Sensorfertigung und Sensoranwendung | 19 |
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| 1.1 Systematik der Sensorsignale | 19 |
| 1.2 Vom Elementarsensor zum Sensorsystem | 21 |
| 1.3 Sensorterminologie und Sensortechnologie | 23 |
| 1.4 Messtechnische Begriffe der Sensorik | 24 |
| 1.5 Messabweichungen für Einzelmesswerte und Messwertverknüpfungen | 25 |
| 1.6 Messabweichungen bei Messketten | 35 |
| 1.7 Messtechnische Eigenschaften von Sensoren und Messmitteln | 35 |
| 1.8 Störsicherheit und Zuverlässigkeit | 63 |
| 1.9 Praktische Zusammenstellung und Auswahlkriterien für Messgrößen und Sensoren | 64 |
| 2 Mechanoresistive Sensoren | 67 |
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| 2.1 Positionsresistive Sensoren (resistive Aufnehmer / Sensoren) | 67 |
| 2.2 Dehnungsresistive Sensoren (dehnungsresistive Aufnehmer) | 74 |
| 3 Elektromechanische Induktionssensoren | 113 |
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| 3.1 Induktionsspulensensor (Pick-up) (Induktionssensor) | 114 |
| 3.2 Schwingspulensensor (Schwingspule) | 120 |
| 3.3 Magnetflussspulensensoren | 123 |
| 3.4 Differentialtransformator(LVDT: linearer variabler Differentialtransformator) | 126 |
| 3.5 Resolver | 133 |
| 3.6 Inductosyn | 133 |
| 4 Elektromechanische Induktivsensoren | 135 |
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| 4.1 Längsanker-1-Spulen-Sensor (Längsankeraufnehmer, induktiver Wegsensor, Wegaufnehmer) | 137 |
| 4.2 Längsanker-Differenzspulensensor(Längsanker-Differenzwegaufnehmer) | 138 |
| 4.3 Queranker-1-Spulen-Sensor (Querankeraufnehmer) | 148 |
| 4.4 Queranker-Differenzspulensensor (Differential-Querankeraufnehmer, Differential-Queranker-Geber) | 150 |
| 5 Elektromechanische Wirbelstromsensoren | 155 |
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| 5.1 Längsanker-Wirbelstromsensor (Wirbelstrom-Längsankersensor) | 155 |
| 5.2 Queranker-Wirbelstromsensor (Wirbelstrom-Querankeraufnehmer) | 156 |
| 6 Induktive Positionssensoren (Näherungsschalter / Initiatoren) | 159 |
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| 6.1 Induktive Initiatoren | 160 |
| 6.2 Wirbelstrominitiatoren | 161 |
| 7 Magnetfeldsensoren | 171 |
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| 7.1 WIEGAND-Sensoren und Impulsdrähte | 171 |
| 7.2 Magnetfeldsensoren mit amorphen Metallen | 175 |
| 7.3 Galvanomagnetische Sensoren | 182 |
| 7.4 XMR-Sensoren | 209 |
| 7.5 SQUID-Sensoren | 240 |
| 8 Reedsensoren | 243 |
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| 9 Magnetoelastische Sensoren | 253 |
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| 9.1 Magnetoelastischer Effekt und Technologie | 253 |
| 9.2 Pressduktoren | 254 |
| 9.3 Magnetoelastisch-induktive Kraftelementarsensoren (magnetoelastische Kraftsensoren / Kraftaufnehmer) | 254 |
| 9.4 Magnetoelastische Druckelementarsensoren (magnetoelastische Drucksensoren / Druckaufnehmer) | 255 |
| 9.5 Magnetoelastische Drehmomentelementarsensoren (magnetoelastische Drehmomentsensoren /Drehmomentaufnehmer) | 256 |
| 10 Kapazitive Sensoren | 265 |
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| 10.1 Kapazitive EMS-Sensoren | 265 |
| 10.2 Kapazitive MEMS-Sensoren | 276 |
| 10.3 Applikationsbeispiele abgewandelter MEMS-Sensortypen | 286 |
| 11 Piezoelektrische Sensoren | 299 |
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| 11.1 Physikalische, mathematische, technologische und messtechnische Grundlagen | 299 |
| 11.2 Technische Bauformen von piezoelektrischen Elementarsensoren | 305 |
| 11.3 Elektronische Auswerteschaltungen für piezoelektrische Elementarsensoren | 308 |
| 11.4 Technische Datenbeispiele ausgewählter piezoelektrischer Sensoren | 312 |
| 12 Optische und optoelektronische Sensoren | 321 |
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| 12.1 Optische und elektrophysikalische Grundlagen | 321 |
| 12.2 Photoelektrische Effekte | 321 |
| 12.3 Sensoreffekte | 325 |
| 12.4 Photozelle (Vakuumphotozelle) | 325 |
| 12.5 Photomultiplier (Sekundär-Eelektronenvervielfacher) | 327 |
| 12.6 Photowiderstand (photoresistiver Elementarsensor) | 328 |
| 12.7 Photodioden und Photoelemente | 330 |
| 12.8 Positionsempfindliche Photodioden (PSD – Position Sensitive Detector) | 336 |
| 12.9 Bildsensoren (CCD, CMOS) | 338 |
| 12.10 Lichtwellenleiter (LWL) (Glasfasern) | 340 |
| 12.11 Optische und optoelektronische Sender | 344 |
| 12.12 Optische und optoelekt
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